发布时间：2024-09-12 16:21:52
石墨靶材的制备方法主要有以下几种：
粉末冶金法：将一定成分配比的合金原料熔炼，浇注成铸锭后再粉碎，将粉碎形成的粉末经等静压成形，再高温烧结，最终形成靶材。
铸造法：将一定成分配比的合金原料熔炼，再将合金溶液浇注于模具中，形成铸锭，***经机械加工制成靶材，铸造法在真空中熔炼、铸造。常用的熔炼方法有真空感应熔炼、真空电弧熔炼和真空电子轰击熔炼等。
化学气相沉积法：利用气态物质在固体表面发生化学反应，生成固态沉积物的过程。该方法可以制备出高纯度、高密度的石墨靶材。
物***相沉积法：利用物理过程将材料沉积在靶材表面的方法。常用的物***相沉积方法有溅射镀膜、蒸发镀膜等。
